Измерительное и испытательное оборудование для лабораторий, производства, телекоммуникаций

Chem 20™ от Particle Measuring Systems - самый чувствительный в мире счетчик химических частиц

Chem 20.jpgСовременное производственный процесс микросхем выставляет высокие требования к чистоте обрабатывающих химических веществ. Они должны быть качественно профильтрованы, чтобы размер частиц примесей не превышал значение 20 нм. 

Новый счетчик частиц Chem 20 от PMS обладает чувствительностью к размеру частиц от 20 нм, что делает его самым чувствительным датчиком из существующих, предназначенным для использования в химических процессах высокой чистоты.

Полученная при сравнительном анализе систем химического распределения и упаковки статистика подтверждает, что счетчик PMS Chem 20 позволяет обнаруживать большие концентрации частиц лучше, чем другие аналогичные приборы.

Счетчик химических частиц PMS Chem 20 является важнейшим прибором для инженеров по технической эксплуатации и инженеров-технологов, который дает возможность своевременно обнаружить и определить характеристики источников химических частиц, и предупредить их влияние на процесс и производительность устройства.

Задачи, решаемые PMS Chem 20

  • Мониторинг частиц в химических распределительных в режиме реального времени;
  • Мониторинг в точке обработки;
  • Мониторинг операций химической упаковки;
  • Определение производительности и характеристик химических фильтров;
  • Тестирование производительности компонентов для работы с химреагентами.

Особенности прибора

  • Усовершенствованная лазерная оптика и детекторы позволяют достичь чувствительности для химических частиц размером 20 нм 
  • Встроенный измеритель химического потока для настройки расхода пробы
  • Первый счетчик частиц, оптимизированный для низкого и высокого рефракционного индекса химических веществ для повышения производительности:
- Датчик Chem 20 для химикатов с малым индексом рефракции;
- Датчик Chem 20-HI специально для серной кислоты и других химических веществ с более высоким индексом рефракции.

  • Встроенная система определения утечки для сигнализации о внутренней утечке химического вещества
  • Детектор низкого расхода и сигнализации для обеспечения корректных данных
  • Детектор ЦМД для оптимизации данных и защиты датчика 
  • Локальное отображение данных.

Преимущества

  • Детектирует частицы полистеренового латекса (PSL) с размером от 20 нм и 9 нм золотые частицы в режиме реального времени;
  • Детектирует частицы с ограниченной текучестью, что не представляется возможным с применением других технологий;
  • Быстро реагирует на отклонение частиц, намного раньше, чем становятся доступны выходные данные и данные сканирования поверхности;
  • Оптимизированная система химической доставки из точки загрузки в точку обработки;
  • Жесткие пределы управления технологическим процессом через усовершенствованную статистическую обработку исследуемой выборки;
  • Оптимизация работы прибора для очень грязных или очень чистых задач с использованием двух режимов просмотра, расширяет область применения продукта;
  • Поддерживает устаревшие системы сбора данных с помощью гибкой системы коммуникаций.

Источник theseuslab.by.

Читайте также